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集成電路純水設備

文章出處: http://www.cdxft.com 人氣: 發(fā)布時(shí)間:2017-09-01

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集成電路純水設備概述
集成電路電路板生產(chǎn)過(guò)程中,FPC/PCB濕流程絕大部分工藝都是相似的。各個(gè)工藝環(huán)節對純水的要求集成電路用純水設備也是大同小異。我們在集成電路生產(chǎn)過(guò)程中常用到的電鍍銅,錫,鎳金;化學(xué)鍍鎳金;PTH/黑孔;表面處理蝕刻等生產(chǎn)過(guò)程都需要用到不同要求的純水。因為線(xiàn)路板生產(chǎn)過(guò)程中使用的藥水不同,生產(chǎn)工藝流程的差異,對純水的品質(zhì)要求也不一樣。關(guān)鍵的指標是:電導率(電阻率),總硅,pH值,顆粒度。線(xiàn)路板、電路板用純水因為本身工藝流程的不同對純水制造的工藝流程也不同。按照目前絕大部分集成電路線(xiàn)路板廠(chǎng)的使用情況來(lái)看,大概分為以下三種類(lèi)型:預處理加離子交換純水系統;反滲透加離子交換系統;高效反滲透加EDI超純水設備。

集成電路用純水典型工藝流程 
線(xiàn)路板純水的工藝大致分成以下幾種:
采用離子交換方式
流程如下:自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過(guò)濾器→陽(yáng)樹(shù)脂床→陰樹(shù)脂床→陰陽(yáng)樹(shù)脂混合床→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

采用兩級反滲透方式
流程如下:自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過(guò)濾器→一級反滲透主機→PH調節→混合器→二級反滲透主機(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

采用高效反滲透加EDI方式
流程如下(新工藝性?xún)r(jià)比高):自來(lái)水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中EDI工作原理間水箱→低壓泵→PH值調節系統→高效混合器→精密過(guò)濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

標準參考 
顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)(經(jīng)驗數據)
集成電路用純水水質(zhì)
國家電子級純水標準

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