[純水]、[超純水]雖是實(shí)驗用水的名詞，卻無(wú)法明確表示水的純度。將水中的導電污染物質(zhì)去除到電阻率達到18.2MΩ.cm@25℃時(shí)，就稱(chēng)為[超純水]。

在此必須注意的是，電阻率只是代表水中電解質(zhì)的含量，并不能表示不含其它的污染物質(zhì)。也就是說(shuō)，稱(chēng)為[超純水]的水，還是可能含有不確定量的有機物、微粒、微生物等污染物質(zhì)，會(huì )具有不同的TOC值。因此，必須同時(shí)使用[電阻率]與[TOC]來(lái)評估水質(zhì)。

不論以任何純化方式來(lái)去除污染物質(zhì)，若無(wú)法達到18.2MΩ.cm@25℃的水，都稱(chēng)為[純水]。例如[離子交換樹(shù)脂水、[蒸餾水]、[反滲透水]等，都屬于[純水]。[蒸餾水]與[反滲透水]這一類(lèi)的純水，由于純化速率較慢，都必須使用水箱儲存后再供使用。因此，純水在貯存過(guò)程中可能受到貯存器材的材質(zhì)、混雜在空氣中的污染物與微生物的污染，造成水質(zhì)的劣化。所以，所謂的[純水]也無(wú)法代表一定會(huì )有很好的質(zhì)量。其水質(zhì)會(huì )因為純化方法與使用環(huán)境的不同而有所不同。